ФАЙГЛЬ Торстен (DE)

Изобретение относится к термостабильному многослойному зеркалу для крайнего (коротковолнового) ультрафиолетового (УФ) спектрального диапазона и может быть использовано в качестве нагреваемого коллекторного зеркала источника излучения крайнего УФ-диапазона. Многослойное зеркало для отражения излучения крайнего УФ-диапазона содержит множество чередующихся слоев молибдена и слоев кремния. На множест...