Казьмирук Вячеслав Васильевич (RU)

Изобретение относится к области электронного приборостроения, а более конкретно - к конструкции детекторов электронов, и может найти преимущественное использование в электронных микроскопах. Детектор электронов выполнен в виде двояковыпуклого оптически прозрачного диска с коническим углублением по его центру, при этом поверхность диска, обращенная к пучку детектируемых электронов, имеет покрытие...

Изобретение относится к области обработки сигналов в сканирующих устройствах, в частности оно касается способов обработки сигналов в сканирующем электронном микроскопе (СЭМ) и ему подобных устройствах с целью определения параметров пучка и коррекции этих параметров. Техническим результатом является уменьшение времени, необходимого для выполнения вспомогательных процедур установки заданных параме...