Волков Юрий Петрович (RU)

Изобретение относится к области исследования материалов с помощью электромагнитного излучения с последующим получением изображения исследуемого объекта, а именно к способам сканирования и устройствам для томографического исследования двумерной структуры плоских объектов. Способ включает сканирование объекта контроля пучком электромагнитного излучения при дискретном изменении углового положения об...

Изобретение относится к области нанотехнологий, в частности к сканирующим туннельным микроскопам. Способ включает определение 3-D профиля полупроводниковой или металлической поверхности при приближении по вертикальной координате Z зонда с металлическим наноострием, при этом облучают поверхность под наноострием зонда перестраиваемым по длине волны оптическим излучением в диапазоне от ИК до УФ с по...