ХЕППЕКАУЗЕН Йозеф (DE)

Изобретение относится к способу покрытия изделий из вентильных металлов, которые применяются в качестве комплектующих для турбомолекулярных насосов. Изделие, изготовленное из вентильных металлов, выбранных из алюминия, магния, титана, ниобия и/или циркония и их сплавов, покрывают оксидным керамическим слоем, образованным из металла плазмохимическим способом. Керамический слой имеет барьерный межф...