Максимов Сергей Кириллович (RU)

Группа изобретений относится к способам измерения линейных размеров изделий, микро- и наноэлектроники, а также наноразмерным частицам и к сканирующим электронным микроскопам. Способ измерения линейных размеров объекта с использованием растрового электронного микроскопа как расстояния между инвариантными точками распределений интенсивности реизлучения, формирующего изображение на краях объекта, вк...