МОРИСУЕ Масафуми (JP)

Изобретение относится к способу изготовления кремниевой подложки головки для выброса жидкости, которая снабжена элементом генерации энергии для выброса жидкости и отверстием, проходящим через кремниевую подложку, для подачи жидкости к элементу генерации. Способ изготовления подложки включает в себя: формирование множества вогнутых участков на задней поверхности кремниевой подложки с ориентацией {...