МАЦУМОТО Кейдзи (JP)

Способ изготовления кремниевой подложки для выбрасывающей жидкость головки, имеющей первую поверхность, противоположную второй поверхности, содержит этапы: обеспечение слоя на второй поверхности кремниевой подложки, причем этот слой имеет более низкую скорость травления, чем кремний, при воздействии травителя кремния; частичное удаление слоя так, чтобы открыть часть второй поверхности кремниевой...