КОЯМА Судзи (JP)

Способ изготовления кремниевой подложки для выбрасывающей жидкость головки, имеющей первую поверхность, противоположную второй поверхности, содержит этапы: обеспечение слоя на второй поверхности кремниевой подложки, причем этот слой имеет более низкую скорость травления, чем кремний, при воздействии травителя кремния; частичное удаление слоя так, чтобы открыть часть второй поверхности кремниевой...

Изобретение относится к жидкой композиции, способу получения кремниевой подложки и к способу получения подложки для головки для выброса жидкости. Сущность изобретения: жидкая композиция, используемая для проведения анизотропного травления кристалла кремниевой подложки, снабженной маской для травления, формируемой из пленки оксида кремния, включает гидроксид цезия, щелочное органическое соединение...