ТАГУТИ Нориюки (JP)

Изобретение относится к плазменной технике. Устройство для плазменной обработки содержит электроды, пространство электрического разряда и источник электроснабжения. Электроды образованы посредством заделывания проводящего слоя в изолирующую подложку из керамической спеченной массы. Пространство электрического разряда образовано между расположенными противоположно друг другу электродами. Источник...