Моченов М.И.

 Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для дезактивации и травления монокристаллов ядерно-легированного кремния. Способ включает обработку поверхности кремния щелочным раствором персульфата щелочного металла. Соотношение компонентов в растворе для дезактивации составляет 10 - 100 г/л ХОН : (0,5 - 5) г/л X2S2O8, где X - щелочной металл. Предлагаемое изобретение п...