Чумаченко Г.А.

 Изобретение относится к ядерной технике и может быть использовано для дезактивации и травления монокристаллов ядерно-легированного кремния. Способ включает обработку поверхности кремния щелочным раствором персульфата щелочного металла. Соотношение компонентов в растворе для дезактивации составляет 10 - 100 г/л ХОН : (0,5 - 5) г/л X2S2O8, где X - щелочной металл. Предлагаемое изобретение п...

 Изобретение относится к технологии нейтронно-трансмутационного легирования (НТЛ) кремния при промышленном производстве на энергетических реакторах типа РБМК, широко применяемого в технологии изготовления приборов электронной и электротехнической промышленности. Сущность изобретения: в способе нейтронно-трансмутационного легирования кремния, включающем циклическое облучение нейтронным пото...