PatentDB.ru — поиск по патентным документам

МАСУДА Юкио (JP)

Изобретатель МАСУДА Юкио (JP) является автором следующих патентов:

Вакуумное обрабатывающее устройство

Вакуумное обрабатывающее устройство

Изобретение относится к устройству для вакуумного парового осаждения слоя на подложку путем облучения материала напыления. Устройство содержит источник - испаритель материала напыления, электронную пушку Пирса, расположенную напротив источника-испарителя. Снаружи вакуумной камеры, с задней стороны поверхности излучения электронного пучка, за точкой испарения источника-испарителя расположен постоя...

2421543