Зелинский Александр Георгиевич (RU)

Изобретение может быть использовано для фильтрации электромагнитного излучения. Предлагаемая конструкция самоподдерживающейся металлической сеточной структуры (МСС) представляет собой тонкую перфорированную металлическую пленку, гальванически выращенную поверх массивного опорного кольца, входящего в состав исходной подложки, и своими краями крепящуюся к нему. Также предложен способ изготовления э...

Изобретение относится к LIGA-технологии, а точнее к способу изготовления LIGA-шаблона (ЛИГА-шаблона), используемого для проведения первой стадии LIGA-технологии - глубокой рентгеновской литографии. Технический результат - увеличение контрастности и рентгенопрозрачности LIGA-шаблона. Способ изготовления LIGA-шаблона, характеризующийся тем, что исходная подложка представляет собой формуемый из комп...

Изобретение относится к LIGA-технологии. Заявленный способ изготовления LIGA-шаблона характеризуется тем, что исходную подложку изготавливают из бериллиевой фольги, на рабочей поверхности подложки создают буферный (защитный) слой из проэкспонированного и задубленного негативного фоторезиста SU-8. Технический результат - обеспечение высокого уровня контрастности и рентгенопрозрачности. 3 ил.