Стешов А.Г.

 Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для получения потоков частиц, используемых, например, для вакуумного нанесения тонких пленок. В качестве источника многокомпонентных атомарных потоков, состоящих из потока тяжелых атомов с энергией распыления, и потока быстрых атомов с энергией, определяемой напряжением на разряде, применяется ловушка с вращающейся пл...

 Изобретение относится к технической физике, в частности к способу вакуумного нанесения тонких пленок на поверхность твердого тела. Изобретение направлено на снижение затрат на производство, реализующее вышеуказанный способ, включая эксплуатационные расходы, повышение производительности и стабильность в работе, а также улучшение качества получаемых тонких пленок. Способ включает одновремен...

 Изобретение предназначено для электрофизики и может быть использовано для разделения тяжелых изотопов. Источник 1 соединен через выпускной канал 3 с системой ионно-циклотронного резонансного нагрева и сбора. Источник ионов 1 создает узкий плазменный поток 2. Выпускной канал 3 ограничивает поперечные размеры образующейся плотной плазмы, имеющей плотность порядка 1012 см-3. ВЧ-антенна элект...