Трегубова Елена Владимировна (RU)

Изобретение относится к технологии микро- и наноэлектроники. Сущность изобретения: способ изготовления полупроводникового прибора с Т-образным управляющим электродом включает выделение на подложке арсенида галлия с нанесенным вспомогательным слоем диэлектрика активной области прибора, в пределах которой формируют устройство. На данную подложку наносят слой резиста, подходящего для наноимпринт лит...