КАТО Масатака (JP)

Способ изготовления подложки для головки для выпуска жидкости, содержащей кремниевую подложку и впускной канал, включает: создание кремниевой подложки, содержащей изолирующий слой на первой поверхности и слой маски с отверстиями для травления на другой поверхности подложки, причем изолирующий слой расположен в участке, продолжающемся из положения напротив отверстий до положения напротив участка м...

Способ обработки подложки головки для выбрасывания жидкости включает в себя этап обеспечения подложки и этап обеспечения углубленного участка на задней поверхности подложки посредством выбрасывания жидкости в линейной форме от задней поверхности подложки, и посредством обработки задней поверхности подложки лазерным светом, который проходит вдоль по жидкости и в жидкости. Технический результат - п...