Щербаков Александр Вячеславович (RU)
Изобретатель Щербаков Александр Вячеславович (RU) является автором следующих патентов:

Способ получения кремнийорганических дендронов
Изобретение относится к способу получения многофункциональных кремнийорганических металлсодержащих дендронов. Предложен двухстадийный способ получения кремнийорганических металлсодержащих 12- и 24-многофункциональных дендронов общей формулы T8Vi4(CH(Cl)CH2SAcAcMn(AcAcSCH2CH(Cl)Si(OR)3)(n-1))4, в которой T8Vi4 - фрагмент октавинилсилсесквиоксана с оставшимися четырьмя свободными винильными группам...
2424244
Оптическая измерительная система и способ измерения критического размера
Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения геометрических параметров нанообъектов. Оптическая измерительная система содержит модуль изменения и контроля параметров оптической схемы и условий освещения; модуль освещения; модуль построения оптического изображения; модуль дефокусирования; модуль регистрации ряда изображений с различной степенью дефокусиров...
2509718
Способ мультиспектральной визуализации и устройство для измерения критического размера наноструктур
Изобретение относится к области полупроводниковых технологий и более конкретно к способу мультиспектральной визуализации для измерения критического размера (КР) наноструктурированных объектов и к устройству, в котором осуществляется данный способ. В способе согласно изобретению получают эталонные распределения интенсивности в нескольких спектральных интервалах при различных положениях образца вд...
2560245
Лазерные спекл-интерферометрические системы и способы для мобильных устройств
Изобретение относится к медицинской технике, а именно к системе и способу лазерной спекл-интерферометрии для мобильных устройств. Система содержит блок ввода данных, который включает в себя источник лазерного излучения и детектор для регистрации спекловых картин, формирующихся при рассеянии лазерного излучения от исследуемого объекта, блок памяти для хранения результатов измерения, параметров ка...
2573053