Чиннов Владимир Всеволодович (RU)

Изобретение может быть использовано в производстве полупроводникового кремния. Трихлорсилан, полученный гидрохлорированием технического кремния, очищают от высококипящих соединений, включая метилдихлорсилан, ректификацией в одной колонне при соотношении концентраций трихлорсилана и метилдихлорсилана в кубовой жидкости, равном 23-30. Изобретение позволяет получать трихлорсилан с содержанием метилд...

Изобретения могут быть использованы для получения товарного пирогенного диоксида кремния при промышленной утилизации кремнийсодержащих отходов. Для осуществления способа в реакционное пространство через многоканальное коаксиальное смесительное устройство подают поток компонентов, образующих гидролизное пламя, вводят диспергированные жидкие и газообразные отходы производства трихлорсилана, содержа...