Столетов И.С.

 Мишень для магнетронного распыления в вакууме, содержащая диск из распыляемого немагнитного материала с углублениями и концентричные полюсные наконечники, расположенные в углублениях, отличающаяся тем, что, с целью повышения надежности в работе за счет уменьшения деформации мишени при ее разогреве, углубления выполнены с нераспыляемой стороны диска, а полюсные наконечники выполнены из мат...

 Использование: в измерительной технике. Сущность изобретения: на основании параллельно друг другу установлены манометр 1 и термометр 4, выполненные в виде капиллярных трубок. Под действием давления находящийся в манометре газ перемещает столбик рабочей жидкости 2 на определенную величину, являющуюся мерой давления. Значение абсолютного давления вычисляется с использованием таблицы по разн...

 Использование: исследование параметров тонких диэлектрических пленок. Сущность изобретения: способ включает создание области оптического контакта между поверхностью волновода и элементом связи, измерение углового распределения интенсивности излучения, прошедшего через волновод, и вычисление по угловому распределению параметров волновода, при этом возбуждение волновода осуществляют путем п...

 Использование: устройства контроля параметров планарных оптических волноводов. Сущность изобретения: формируют дополнительный волновод, сопрягают его с основным волноводом, формируют дифракционную решетку в поле собственной волны дополнительного волновода, вводят излучение в основной волновод посредством дифракционной решетки и дополнительного волновода, при этом дополнительный волновод ф...

  Использование: при изготовлении устройства на поверхностных акустических волнах (ПАВ). Способ изобретения: на рабочую поверхность подложки в вакууме осаждают пленочную систему, состоящую из адгезионного слоя и пленки алюминия, методом фотолитографии формируют из поеночной системы электроды преобразователя ПАВ и на электроды преобразователя в вакууме осаждают пьезоэлектрическую пленку, на...

 Использование: в микроэлектронике для получения рельефа в диэлектрических и пьезоэлектрических подложках при изготовлении волноводов, микромеханических приборов, кварцевых резонаторов и т.п. Сущность изобретения: способ включает нанесение на подложку металлической пленки и формирование конфигурации защитной маски, травление подложки и удаление защитной маски. В качестве материала маски ис...

 Световой поток от осветителей проходит через сопряжение элемента растровых дорожек дисков и кольца и попадает на вход фотоприемников. При вращении диска относительно другого диска сигнал с выходов фотоприемников модулируется, а так как число элементов одной растровой дорожки отличается на единицу от числа элементов другой растровой дорожки, то за один оборот вращающегося диска на вход эле...

 Использование: исследование параметров тонких диэлектрических пленок. Сущность изобретения: способ включает создание области оптического контакта между поверхностью волновода и элементов связи, выполненного из двух или более оптически изолированных друг от друга соединенных между собой частей, вывод излучения из волновода, измерение углового распределения интенсивности излучения, прошедше...