Остащенко Артем Юрьевич (RU)

Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии, преимущественно атомно-силовой микроскопии, и может быть использовано для измерений размеров нанообъектов и рельефа поверхностей, имеющих перепад высот наноразмера. Сущность изобретения заключается в том, что в способе измерения рельефа и свойств поверхности для сканирующего зондового микроскопа сканирование осуществляют в направле...