ЛИУ Фенгминг (GB)

Изобретение относится к травлению материала на основе кремния. Сущность изобретения: в способе травления кремниевой подложки с образованием кремниевых столбиков подложку выдерживают в водном растворе - фтористоводородной кислоты или ее соли, при концентрации от 1,5 до 10 М, соли металла при содержании от 5 до 100 мМ, способной к химическому осаждению металла на поверхность кремния в присутствии и...