Сагунова Ирина Владимировна (RU)
Изобретатель Сагунова Ирина Владимировна (RU) является автором следующих патентов:

Способ формирования тонких пленок карбида вольфрама
Изобретение относится к области нанотехнологии и наноэлектроники, а именно к получению тонких пленок карбида вольфрама. Сущность изобретения: способ формирования тонких пленок карбида вольфрама включает нанесение тонкой вольфрамосодержащей пленки на полупроводниковую подложку и карботермический синтез, причем тонкую пленку вольфрама наносят импульсно-плазменным осаждением, а карботермический синт...
2430017