PatentDB.ru — поиск по патентным документам

Савинова Юлия Алексеевна (RU)

Изобретатель Савинова Юлия Алексеевна (RU) является автором следующих патентов:

Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы

Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы

Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы относится к области измерительной техники и предназначен для измерения давления при воздействии нестационарных температур и повышенных виброускорений. Датчик давления на основе тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы (НиМЭМС), содержащий корпус, установленную в нем НиМЭМС, состоящую из упругого элеме...

2430343

Способ изготовления датчика давления повышенной стабильности на основе нано- и микроэлектромеханической системы

Способ изготовления датчика давления повышенной стабильности на основе нано- и микроэлектромеханической системы

Изобретение относится к измерительной технике, в частности к тензорезисторным датчикам давления на основе тонкопленочных нано- и микроэлектрических систем (НиМЭМС) с мостовой измерительной цепью, предназначенных для использования в системах управления, контроля и диагностики объектов длительного функционирования. Техническим результатом изобретения является повышение временной и температурной ст...

2572527