Зайцев Игорь Иванович (RU)

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания полупроводниковых пластин во время диффузионной обработки. Сущность изобретения: кассета для диффузионной обработки полупроводниковых пластин содержит четыре параллельных цилиндрических стержня с пазами. Верхний из стержней выполняет функцию крышки и расположен с возможностью крепления с противоположных торцов после размещения в к...

Изобретение относится к устройствам, предназначенным для удержания полупроводниковых пластин во время жидкостной обработки. Сущность изобретения: кассета для жидкостной обработки полупроводниковых пластин содержит четыре цилиндрические стержня, скрепленных по торцам в кассете и выполненных с пазами, продольные оси стержней параллельны между собой. Верхний из стержней выполняет функцию крышки и ра...