КОМАКИ Масахиро (JP)

Изобретение относится к способам формирования напылением аморфного пленочного покрытия. Согласно способу эжектируют пламя, содержащее частицы материала, к материалу подложки из сопла так, что частицы материала расплавляются в пламени и охлаждают частицы материала и пламя до того, как они достигнут материал подложки. Охлаждение частиц материала и пламени осуществляют посредством эжектирования охла...