Лиленко Юрий Викторович (RU)
Изобретатель Лиленко Юрий Викторович (RU) является автором следующих патентов:
![Способ изготовления полевых транзисторов с самосовмещенным затвором субмикронной длины Способ изготовления полевых транзисторов с самосовмещенным затвором субмикронной длины](https://img.patentdb.ru/i/200x200/9dbae85c713ffe1e43e951a9f24b5a4f.jpg)
Способ изготовления полевых транзисторов с самосовмещенным затвором субмикронной длины
Изобретение относится к микроэлектронике и может быть использовано при изготовлении полевых транзисторов. Изобретение обеспечивает повышение напряжений пробоя затвор-сток за счет формирования структуры со слаболегированными стоком и истоком, уменьшение привносимой в приповерхностный слой канала дефектности, а также создание возможности для формирования электрода затвора большой высоты за счет пол...
2436186