СНЕК Сами (FI)

Изобретение относится к термоисточнику, используемому в устройствах для осаждения из паровой фазы для подачи исходного вещества в реактор. Термоисточник (1) содержит контейнер (2) для исходного вещества, имеющий полость (4). Контейнер (2) для исходного вещества выполнен съемным с возможностью присоединения к крышке (6), имеющей первое нагревательное устройство (8) для нагревания крышки (6) таким...