Проскурин Л.С.

 Изобретение относится к электронной технике и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры. Тонкопленочный терморезистор содержит диэлектрическую подложку, на которой сформирована тонкопленочная структура из двух покрытых защитным материалом резисторов - основного и дополнительного, соединенных с контактными площадками. Одна площадка являетс...

 Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в производстве тонкопленочных терморезисторов - датчиков температуры. В способе изготовления тонкопленочного терморезистора, включающем напыление на диэлектрическую подложку резистивного слоя, формирование примыкающих к одной из сторон диэлектрической подложки контактных площадок, формирование методом фотолитогр...