ФУДЗИТА Хирохиса (JP)

Изобретение относится к способу обработки жидкости, который включает удаление компонента смолы из жидкости, используемой для отслаивания компонента органической смолы с поверхности подложки. Способ обработки жидкости включает разложение смолы в жидкости с помощью обеспечения контакта газообразного озона с жидкостью, содержащей водорастворимое карбонильное соединение и смолу. Также способ обработк...