Мироевский Петр Равильевич (RU)

Изобретение относится к технологии получения высокочистого трихлорсилана, применяемого в качестве источника кремния в технологиях микроэлектроники и наноэлектроники. Способ включает взаимодействие тетрахлорида кремния с техническим кремнием и хлористым водородом с последующим разделением смеси хлорсиланов и рециркуляцией непрореагировавшего тетрахлорида кремния, при этом процесс синтеза трихлорси...

Изобретение относится к установкам для получения высокогомогенных многокомпонентных суспензий, смесей, порошков и материалов и может быть использовано в строительной, горнорудной, пищевой, медицинской, электротехнической промышленности и других, где требуется получить высокогомогенную смесь. Установка содержит исполнительный механизм, блок управления, станцию термостатирования, емкость с жидкой...