ШМИДТ Элке (DE)

Изобретение относится к емкостному датчику давления. Техническим результатом является повышение чувствительности датчика давления. Датчик давления включает корпус и упругую измерительную мембрану. Корпус и/или измерительная мембрана выполнены из керамики, стекла или монокристаллического материала. Измерительная мембрана имеет, по меньшей мере, один первый электрод, который обращен к поверхности о...