Шевченко Евгений Фёдорович (RU)

Изобретение относится к технике получения плазмы, частиц вещества, пучков ионов и электронов и может быть использовано при обработке деталей плазмой, а также в электронных и ионных источниках для нанесения покрытий, модификации поверхностей. Технический результат - расширение диапазона технологических применений генератора и увеличение однородности радиального распределения плотности плазмы при н...