Соловьёв Владимир Степанович (RU)

Способ может быть использован для создания сложных дифракционных оптических элементов (ДОЭ) - линз Френеля, киноформов, фокусаторов, корректоров и др. Способ включает нанесение фоторезистного слоя на субстрат, операции сушки, экспонирования, проявления пленок, их термозадубливание и реактивное или плазмохимическое травление субстрата смесью газов через маскирующий слой термозадубленного фоторезис...

Изобретение относится к радиоэлектронике, технике СВЧ и может быть использовано при изготовлении печатных плат, а также микрополосковых линий с выполнением электропроводящих структур из различного металла. Технический результат - упрощение процесса получения печатных плат с рисунком электропроводящей схемы без применения трудоемких методов фотолитографии и шелкографии, повышение экологической чи...