ПАРТАСАРАТИ Сантана Рагаван (US)
Изобретатель ПАРТАСАРАТИ Сантана Рагаван (US) является автором следующих патентов:
Повышение производительности осаждения поликремния в реакторе химического осаждения из паровой фазы
Изобретение относится к производству поликремния, а именно к реактору для химического осаждения поликремния из паровой фазы. Технический результат - повышение производительности производства поликремния. Реактор включает опорную систему, снабженную опорами для накальных элементов, и оболочку, прикрепляемую к упомянутой опорной системе с формированием осадительной камеры. Устройство также содержит...
2442844