НЁЛЬ Оливер (DE)

Предметом изобретения является способ плазменно-химического осаждения из газовой фазы. Способ плазменно-химической обработки из газовой фазы для нанесения покрытия или удаления материала с внутренней поверхности полого изделия (42), в особенности из неметаллического материала, имеющего протяженность в длину и одно отверстие (43), имеет следующие стадии. Полое изделие устанавливают в середину ваку...