Шаповалов Виктор Иванович (RU)

Способ получения фотокаталитически активного покрытия относится к технологии получения указанных покрытий методом магнетронного реактивного распыления. Способ включает нанесение покрытия из диоксида титана на изделие методом магнетронного реактивного распыления на постоянном токе титановой мишени в смеси аргона и кислорода. Распыление мишени осуществляют при суммарном парциальном давлении смеси 0...

Изобретение относится к распылительному блоку магнетрона для осаждения пленок твердых растворов FexTi(1-x)O2 в диапазоне 0<х<0,6 на поверхности металлов, стекол или керамики. Упомянутый блок содержит мишень и охлаждающую пластину, причем мишень и охлаждающая пластина размещены в реактивной среде, состоящей из плазмообразующего газа в виде аргона и химически активного газа в виде кислорода. М...