Сухоруков Дмитрий Олегович (RU)
Изобретатель Сухоруков Дмитрий Олегович (RU) является автором следующих патентов:
Способ химико-динамической полировки
Изобретение относится к проблемам химико-динамической полировки материала и может быть использовано для обработки металла, диэлектрика, полупроводника и их соединений. Способ включает помещение полируемой пластины в травящий химический раствор, причем полируемую пластину прикрепляют к вакуумному держателю нерабочей стороной, опускают в химический раствор рабочей стороной и вращают вокруг своей ос...
2447196