Гологанов А.Н.

 Тестовая структура состоит из основания и расположенных на нем выступающих микроструктур геометрической формы, выполненных в виде игл. Иглы могут иметь форму многогранной пирамиды или конуса с углом при вершине менее 20o. Радиус кривизны острия может быть менее 10 нм. Иглы могут быть расположены регулярно с постоянным шагом. Тестовая структура обеспечивает получение полного трехмерного из...

 Тестовая структура состоит из основания и расположенных на нем выступающих монокристаллических микроструктур. Микроструктуры имеют плоскую верхнюю поверхность с горизонтальными ребрами и расположены регулярно с постоянным шагом. Горизонтальные ребра верхней поверхности микроструктуры образуют квадрат и имеют неровность 5 нанометров. Микроструктуры могут быть расположены в шахматном порядк...

 Тестовая структура состоит из основания и расположенных на нем выступающих монокристаллических микроструктур с заданными геометрическими параметрами. Микроструктуры имеют горизонтальную верхнюю поверхность. Боковые поверхности микроструктур имеют микрорельеф. Микроструктуры могут иметь вертикальные боковые поверхности, при этом рельеф боковых поверхностей микроструктур в перпендикулярном...

 Способ включает формирование на верхней и нижней сторонах кремниевой подложки первого защитного покрытия на основе нитрида кремния. Из него на верхней стороне подложки формируют локальную нитридную маску. Анизотропным травлением кремния с верхней стороны подложки формируют иглообразный выступ. Удаляют локальную нитридную маску и первое защитное покрытие с нижней стороны подложки. Формирую...

 Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а более конкретно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Изобретение позволяет уменьшить расстояние между соседними сканирующими иглами кантилевера, увеличить динамический диапазон измерений и снизить чувствительность к паразитным воздействиям (...

 Изобретение относится к нанотехнологическому оборудованию, а именно к устройствам, обеспечивающим наблюдение, измерение и модификацию поверхности объектов в туннельном и атомно-силовом режимах. Предлагаемый кантилевер для сканирующего зондового микроскопа включает основание, к которому крепится балка, на дальнем от основания конце которой расположена игла. Балка кантилевера выполнена с по...

 Изобретение относится к области сканирующей туннельной и атомно-силовой микроскопии. На кремниевой подложке формируют 1-е защитное покрытие на основе нитрита кремния. Из него формируют локальную нитридную маску и проводят анизотропное травление кремния до формирования на подложке иглообразного выступа. Удаляют локальную нитридную маску и 1-е защитное покрытие. Формируют с обеих сторон под...