Суханов Сергей Васильевич (RU)

Изобретение относится к оптическому приборостроениию. Устройство позволяет контролировать качество поверхности подложек и может найти применение в оптическом приборостроении, например, для контроля качества подготовки поверхностей подложек интегрально-оптических устройств, лазерных зеркал и т.д. На подставке располагается исследуемая подложка. В верхней относительно подложки полуплоскости установ...