Солдатов Виктор Васильевич (RU)

Изобретение относится к области энергетического анализа потоков заряженных частиц, возбуждаемых первичным, например, синхротронным излучением с поверхности твердого тела. Технический результат - улучшение аналитических, эксплуатационных и потребительских свойств электронных спектрометров с угловым разрешением, используемых для исследования объектов микро- и наноэлектроники методами электронной сп...