Комаров Евгений Валерьевич (RU)

Изобретение относится к способам очистки отходящих газов от содержащегося в них силана SiH4. Способ включает взаимодействие силана с кислородом воздуха с образованием твердого диоксида кремния, с последующим отделением диоксида кремния фильтрацией. При этом отходящие газы, содержащие силан, смешивают с воздухом и подают на взаимодействие в реактор типа «туннельная горелка», снабженный рубашкой с...