Курляндская Галина Владимировна (RU)

Изобретение относится к области ионно-плазменного напыления многослойных пленок. Согласно способу получения пленок осуществляют ионно-плазменное напыление материала мишени на подложку в вакууме при приложении магнитного поля. При этом предварительно устанавливают зависимость характеристик материала напыляемого слоя от величины давления распыляющего газа. Напыление осуществляют при величине давлен...

Изобретение относится к области изготовления многослойных магнитных пленочных материалов и может быть использовано в технологии получения сред для записи информации или при производстве датчиков. Способ получения многослойных магнитных пленок включает ионно-плазменное напыление, по крайней мере, двух основных слоев из одного и того же магнитного материала и прослойки между ними из магнитного мат...