Воробьев Виталий Владимирович (RU)

Изобретение относится к полупроводниковой микроэлектронике и наноэлектронике и может быть использовано при создании логических интегральных схем с элементами нанометровых размеров. Сущность изобретения заключается в том, что в интегральном логическом элементе И-НЕ на основе слоистой трехмерной наноструктуры, содержащем первый и второй логические транзисторы, первый и второй инжектирующие транзист...