Бисярин Николай Николаевич (RU)

Изобретение относится к области газового анализа и может использоваться для определения микропримесей различных веществ в газах. Технический результат - повышение разрешающей способности спектрометра. Спектрометр подвижности ионов содержит реакционную камеру (1), дрейфовый электрод (2) и детектор ионов (3). Реакционная камера (1) снабжена входным портом (4) для ввода анализируемого вещества в сме...

Изобретение относится к области нано-, микроэлектроники и аналитического приборостроения и может быть использовано в разработке технологии и в производстве изделий микро- и наноэлектроники, а также в производстве чистых материалов и для диагностики и контроля жидких технологических сред. Способ определения атомного состава активных примесей в жидких средах заключается в подготовке анализируемого...

Изобретение относится к области микроэлектроники. Технический результат направлен на повышение достоверности определения типа и количества загрязняющих примесей на поверхности полупроводниковых пластин после плазмохимического травления и определения оптимального значения длительности времени травления. В способе определения длительности времени плазмохимического травления поверхности полупроводн...