Шабратов Денис Владимирович (н/н)

 Тестовая структура состоит из основания и расположенных на нем выступающих монокристаллических микроструктур с заданными геометрическими параметрами. Микроструктуры имеют горизонтальную верхнюю поверхность. Боковые поверхности микроструктур имеют микрорельеф. Микроструктуры могут иметь вертикальные боковые поверхности, при этом рельеф боковых поверхностей микроструктур в перпендикулярном...

 Способ включает формирование на верхней и нижней сторонах кремниевой подложки первого защитного покрытия на основе нитрида кремния. Из него на верхней стороне подложки формируют локальную нитридную маску. Анизотропным травлением кремния с верхней стороны подложки формируют иглообразный выступ. Удаляют локальную нитридную маску и первое защитное покрытие с нижней стороны подложки. Формирую...