Глухов Алексей Петрович (RU)

Изобретение относится к области радиационно-пучковых технологий создания на поверхности материалов объектов с заданными геометрическими параметрами и может применяться для изменения свойств и геометрических характеристик поверхности объектов наноэлектроники. Сущность изобретения: на поверхности материалов фокусированным ионным пучком формируют объект с заданными геометрическими параметрами. Предв...