Федюнин Анатолий Васильевич (RU)

Использование: для фотолитографии и рентгеновской микроскопии. В вакуумную разрядную камеру подается рабочий плазмообразующий газ через несколько осесимметричных кольцевых сопел (5), образующих полые газовые цилиндры (15) (каскадированный газовый лайнер), в центре внутреннего кольцевого сопла высоковольтного электрода устроен канал для вывода излучения в виде конуса. При включении сильноточного и...