Бовбель Е.В.

 Изобретение относится к технологии нанесения покрытий из нитрида кремния на стеклянную, в том числе кварцевую поверхность. Технический результат - совдание технологии нанесения беспористого антиадгезионного покрытия на основе нитрида кремния на поверхности тиглей. Покрытие предотвращает растворение жидкого кремния в теле тигля, которое приводит к его разрушению вследствие различия коэффиц...