РЕЙДЕНС Карл (US)

Изобретение относится к самособирающимся сублитографическим наноразмерным структурам в упорядоченной периодической решетке и к способам их изготовления. Сущность изготовления: способ формирования наноразмерного рисунка на подложке включает формирование первого трафаретного слоя, охватывающего заданный участок на подложке, выполнение в нем системы первых отверстий, каждое из которых имеет форму пр...