Марголин Владимир Игоревич (RU)

Способ электронной литографии относится к способам нанесения рисунков в технологии изготовления полупроводниковых устройств. Способ реализуется путем переноса изображения с катода-маски электронами вторичной электронной эмиссии на резист, подложка которого соединена с анодом. Особенностью является то, что технологическую камеру заполняют рабочим газом, в прикатодной области создают тлеющий разряд...